電話(huà):13722556980
聯(lián)系人:駱經(jīng)理
電話(huà):13933650672
QQ :2952322645
微信:13722556980
座機:0335-4288044
郵箱:bz4288044@126.com
地址:河北省秦皇島市北戴河開(kāi)發(fā)區金二路2號
數字加速度傳感器的工作原理、結構以及芯片的微加工
- 2021-08-25-

  工程設備工作參數的提取精度作為故障信息監測與診斷的數據源,直接決定了后續故障診斷的準確性,是機械故障信息監測的關(guān)鍵設備。

  隨著(zhù)無(wú)線(xiàn)監控系統的工業(yè)應用和制造設備智能化發(fā)展的趨勢,目前使用的數字加速度傳感器由于成本和體積的原因逐漸不能滿(mǎn)足工業(yè)的實(shí)際需求。因此,將具有小型化、量產(chǎn)潛力的MEMS傳感器應用于機械故障信息監測,可以為制造設備的集成化、智能化發(fā)展提供必要的器件支撐。

  結合各種傳感器的優(yōu)缺點(diǎn)和機械制造設備故障檢測用振動(dòng)傳感器的性能要求,介紹了數字加速度傳感器的工作原理、結構和微加工工藝,根據傳感器固有頻率與測量靈敏度的制約關(guān)系,提出了“小變形-大應力”的敏感結構設計方法,并根據設計的結構特點(diǎn)和微加工工藝能力制定了傳感器芯片的制造工藝。

  數字加速度傳感器的工作原理壓阻式傳感器利用材料的壓阻效應,將物理量轉化為電學(xué)量,實(shí)現信號測量。目前數字加速度傳感器大多采用“梁-質(zhì)量”結構,主要包括質(zhì)量、支撐梁和壓阻三個(gè)基本元件。

  秦皇島市北戴河蘭德科技有限責任公司1992年成立,位于北戴河經(jīng)濟技術(shù)開(kāi)發(fā)區,是集研發(fā)、生產(chǎn)、經(jīng)營(yíng)為一體的科技型民營(yíng)小企業(yè),通過(guò)GB/T19001-2016/ISO9001:2015質(zhì)量管理體系認證。


版權所有:秦皇島市北戴河蘭德科技有限責任公司 本網(wǎng)站部分資源來(lái)源于網(wǎng)絡(luò ),如有侵權,請及時(shí)聯(lián)系我們進(jìn)行刪除處理冀ICP備07014017號-2手機版

RM新时代官方网站
rm新时代赚钱吗是真的吗 RM新时代手机版 rm体育平台 rm新时代是正规平台 新时代RM平台官网