工程設備工作參數的提取精度作為故障信息監測與診斷的數據源，直接決定了后續故障診斷的準確性，是機械故障信息監測的關(guān)鍵設備。

　　隨著(zhù)無(wú)線(xiàn)監控系統的工業(yè)應用和制造設備智能化發(fā)展的趨勢，目前使用的數字加速度傳感器由于成本和體積的原因逐漸不能滿(mǎn)足工業(yè)的實(shí)際需求。因此，將具有小型化、量產(chǎn)潛力的MEMS傳感器應用于機械故障信息監測，可以為制造設備的集成化、智能化發(fā)展提供必要的器件支撐。

　　結合各種傳感器的優(yōu)缺點(diǎn)和機械制造設備故障檢測用振動(dòng)傳感器的性能要求，介紹了數字加速度傳感器的工作原理、結構和微加工工藝，根據傳感器固有頻率與測量靈敏度的制約關(guān)系，提出了“小變形-大應力”的敏感結構設計方法，并根據設計的結構特點(diǎn)和微加工工藝能力制定了傳感器芯片的制造工藝。

　　數字加速度傳感器的工作原理壓阻式傳感器利用材料的壓阻效應，將物理量轉化為電學(xué)量，實(shí)現信號測量。目前數字加速度傳感器大多采用“梁-質(zhì)量”結構，主要包括質(zhì)量、支撐梁和壓阻三個(gè)基本元件。

　　秦皇島市北戴河蘭德科技有限責任公司1992年成立，位于北戴河經(jīng)濟技術(shù)開(kāi)發(fā)區，是集研發(fā)、生產(chǎn)、經(jīng)營(yíng)為一體的科技型民營(yíng)小企業(yè)，通過(guò)GB/T19001-2016/ISO9001:2015質(zhì)量管理體系認證。