種類：屏蔽型。
形狀：φ5.4。
檢測距離：1mm。
連接方式：導(dǎo)線引出型(2m)。
導(dǎo)線規(guī)格：PVC（耐油）。
動作模式：NO。
接線顏色/插針配置：褐：+V 黑：輸出；藍(lán)：0VE3ZM-LS82X使用說明書。
輸出類型：NPN輸出。
超小型接近傳感器，安裝異?！拜p松”!
E2E 小徑型使用更方便E3ZM-LS82X可減少設(shè)備從啟動到保養(yǎng)的安裝調(diào)整工時。
檢測距離以往的1.5倍定位調(diào)整“輕松”。
為了實現(xiàn)穩(wěn)定檢測，推薦檢測距離×0.7以內(nèi)的設(shè)置。
指示燈4處位置調(diào)節(jié)“輕松”。
若使用專用安裝配件，設(shè)計也“輕松”。尺寸：22.5×96mm。
控制輸出：線性電流輸出。
輔助輸出點(diǎn)數(shù)：--。
HB報警和HS報警：--。
事件輸入點(diǎn)數(shù)：--。
通信：RS-485E3ZM-LS82X使用說明書。
電源電壓：AC100～240V。
小巧機(jī)體設(shè)計，顯示字體較大，即使在一段距離之外也能清晰讀數(shù)，
從而顯著降低了人工讀數(shù)出錯的風(fēng)險。
溫控器采用緊湊設(shè)計風(fēng)格，
因此對控制柜內(nèi)安裝空間的要求較低(60mm)，
即使安裝空間較為狹小，
亦可輕松快速地實現(xiàn)卡入式安裝。
同時融入了歐姆龍的PID控制專利，
使其溫度控制的精確性達(dá)到了新的標(biāo)準(zhǔn)，
其50ms的采樣周期也使溫度控制的迅捷性上升了一個臺階。種類：直流3線式，屏蔽型。
形狀：M18。
檢測距離：5mm。
連接方式：導(dǎo)線引出型（2m）。
導(dǎo)線規(guī)格：PVC（耐油）。
動作模式NC。
NPN輸出。
接近傳感器的首選世界頂級的性能和品種齊全E3ZM-LS82X使用說明書。
具有優(yōu)異的耐環(huán)境性能。
標(biāo)準(zhǔn)導(dǎo)線的材質(zhì)為耐油PVC。
檢測面采用耐切削油材質(zhì)。
標(biāo)準(zhǔn)采用導(dǎo)線護(hù)套。分類:經(jīng)濟(jì)型。
名稱：經(jīng)濟(jì)型熱電偶。
溫度范圍：0～+400℃。
元件種類：K（CA）J（IC）。
方式：非接地型。
等級：2級（0.75級）。
保護(hù)材質(zhì)：SUS304。
端子形狀：導(dǎo)線直出型。
記記載頁：17。
品種豐富的高精度溫度傳感器系列。
在以往的M3螺釘對應(yīng)品的基礎(chǔ)上，
追加有助于降低配線工時的棒狀端子對應(yīng)品。
溫度傳感器是用作溫控器的熱感應(yīng)部件。
可根據(jù)要測量的溫度、場所、 周圍環(huán)境選擇。
備有種類、形狀、 長度及端子部形狀各異的產(chǎn)品。晶圓片托架的落座檢測。
通過與導(dǎo)槽并并用的方式設(shè)定落座位置E3ZM-LS82X手冊。
與晶圓片托架的接觸面使用了耐化學(xué)藥品性強(qiáng)的氟素樹脂脂E3ZM-LS82X手冊。
獨(dú)有的光學(xué)系統(tǒng)幾乎可穩(wěn)定檢測所有晶圓片托架。
采用抗干擾光的變調(diào)光方式。
使用環(huán)保導(dǎo)線（無滑石粉）。
檢測方式：反射型。
檢測距離：紅外光0~3mm。
動作模式：有晶圓片托架時ON。
導(dǎo)線長：2m。